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抛光垫表面特性分析_图文_百度文库https://wenku.baidu.com/view/a5d6423e0029bd64783e2ca5.htmlTranslate this page(a) 抛光垫表面 SEM 照片 2 抛光垫表面特性检测与分析 211 抛光垫表面形貌与组织结构 (b) 抛光垫剖面 SEM 照片 图 1 IC1000/ Suba IV 抛光垫表面形貌与组织结构 图 1 为 SEM 所测的 IC1000/ Suba IV 平抛光垫表 面形貌和剖面组织结构 。

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抛光垫表面特性分析_爱学术 - ixueshu.comhttps://www.ixueshu.com/document/e238598384100e39.htmlTranslate this page【作者】 苏建修 傅宇 杜家熙 陈锡渠 张学良 郭东明 【关键词】化学机械抛光 材料去除机理 高分子材料 抛光垫 表面特性 【出版日期】2007-11-03 【摘要】研究抛光垫表面特性有利于了解和分析硅片化学机械抛光(cmp)材料的去除机理及优化抛光垫的微观结构。

【作者】 苏建修 傅宇 杜家熙 陈锡渠 张学良 郭东明 【关键词】化学机械抛光 材料去除机理 高分子材料 抛光垫 表面特性 【出版日期】2007-11-03 【摘要】研究抛光垫表面特性有利于了解和分析硅片化学机械抛光(cmp)材料的去除机理及优化抛光垫的微观结构。
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抛光垫表面特性分析-《半导体技术》2007年11期-中国知网mall.cnki.net/magazine/Article/BDTJ200711013.htmTranslate this page抛光垫表面特性分析 收藏本文 分享. 研究抛光垫表面特性有利于了解和分析硅片化学机械抛光(cmp)材料的去除机理及优化抛光 ...

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抛光垫表面特性分析_文库下载 - wenkuxiazai.comhttps://www.wenkuxiazai.com/doc/3f57b1ef770bf78a6529548d.htmlTranslate this page2016-2021年抛光垫市场前景预测及投资规划分析报告(目录). 国际抛光垫市场发展分析及经验借鉴 第一节 全球抛光垫市场总体情况分析 一、全球抛光垫市场的发展特点 二、全球抛光垫市场结构 三、全球抛光垫市场发展分析 3 www.....

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抛光垫表面特性分析_图文_百度文库https://wenku.baidu.com/view/a997fc284b73f242336c5fee.htmlTranslate this page抛光垫表面特性分析_信息与通信_工程科技_专业资料。抛光 工艺技术与材料 Process Technique and Materials 抛光垫表面特性分析 苏建修1 , 傅宇1 , 杜家熙1 , 陈锡渠1 , 张学良1 , 郭东明2 21 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验 ...

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抛光垫表面特性分析-重庆大学图书馆lib.cqu.edu.cn/asset/detail.aspx?id=20316313989Translate this page重庆大学,数字图书馆,重大,论坛,bbs,forums,board,数图,电子邮件,民主湖,数据库,资料库,资源库,服务,资料库

重庆大学,数字图书馆,重大,论坛,bbs,forums,board,数图,电子邮件,民主湖,数据库,资料库,资源库,服务,资料库
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抛光垫特性对抛光中流体运动的影响分析_爱学术www.ixueshu.com/document/03a88d7357690114.htmlTranslate this page抛光垫表面特性能可大大改变抛光液的流动情况,从而影响化学机械抛光抛光性能。考虑抛光垫粗糙度和孔隙等对抛光液流动的影响,提出了一个初步的晶片级流动模型,并用数值模拟方法研究了不同参数条件(载荷和速度的变化等)下抛光液的流动特征。计算结果表明增加外载荷将导致粗糙峰的磨损 ...

抛光垫表面特性能可大大改变抛光液的流动情况,从而影响化学机械抛光的抛光性能。考虑抛光垫粗糙度和孔隙等对抛光液流动的影响,提出了一个初步的晶片级流动模型,并用数值模拟方法研究了不同参数条件(载荷和速度的变化等)下抛光液的流动特征。计算结果表明增加外载荷将导致粗糙峰的磨损 ...
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